CNC-Bearbeitung für Halbleiteranlagen
Die Halbleiterfertigung erfordert ultrasaubere Komponenten mit nahezu perfekter Maßgenauigkeit. Wir liefern präzise CNC-gefertigte Teile für Wafer-Handhabungsgeräte, Depositionssysteme und Messtechnik, die von deutschen Halbleiter-OEMs verwendet werden.
Materialien für Halbleiter
Wir bearbeiten Aluminiumlegierungen (für Vakuumkammern und Vorrichtungen), Edelstahl (für reinraumkompatible Komponenten), Titan (für hochkorrosive Umgebungen), PEEK und PTFE (für chemikalienbeständige und isolierende Teile) sowie Spezialkunststoffe mit geringer Ausgasung.
Reinraum- & Qualitätsstandards
Typische Komponenten
Wafer-Handhabungs-Greifer, Vakuumspannkomponenten, Kammerauskleidungen, Elektrodengehäuse, Gasverteilungsplatten, Fluidmanagement-Verteiler, Sensorgehäuse und kundenspezifische F&E-Prototypen für die nächste Generation von Halbleiteranlagen.