CNC-bewerking voor halfgeleiderapparatuur
De productie van halfgeleiders vereist ultrareine componenten met bijna perfecte dimensionale nauwkeurigheid. Wij leveren nauwkeurig CNC-gefreesde onderdelen voor wafer-handlingapparatuur, depositiesystemen en meetinstrumenten die worden gebruikt door Nederlandse halfgeleider OEM's.
Materialen voor halfgeleiders
Wij bewerken aluminiumlegeringen (voor vacuümkamers en bevestigingen), roestvrij staal (voor cleanroom-compatibele componenten), titanium (voor omgevingen met hoge corrosie), PEEK en PTFE (voor chemisch bestendige en isolerende onderdelen), en speciale kunststoffen met lage uitgassingseigenschappen.
Cleanroom- & kwaliteitsnormen
Typische componenten
Wafer-handling grijpers, vacuümchuck-onderdelen, kamerbekledingen, elektrodebehuizingen, gasverdeelplaten, vloeistofverdeelmanifolds, sensorbehuizingen en maatwerk R&D-prototyping voor de volgende generatie halfgeleiderapparatuur.